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實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問題,同時(shí)增強(qiáng)光刻圖形的完整性.

大型HMDS真空烘箱，4門HMDS真空烤箱 是半導(dǎo)體光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于基片表面預(yù)處理，通過六甲基二硅氮烷（HMDS）涂布增強(qiáng)光刻膠與基片的黏附性。

硅烷沉積設(shè)備 抗粘劑蒸鍍系統(tǒng) 納米抗粘設(shè)備通過表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過程中實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)較好的轉(zhuǎn)移,復(fù)制.

抗黏劑蒸鍍機(jī) 抗粘劑涂膠機(jī) 硅烷氣相鍍膜機(jī)通過精確控制烘箱溫度（100-200℃）、處理時(shí)長及保持時(shí)間等參數(shù)，使氮烷（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三氯硅烷）沉積在襯底表面，生成疏水性的保護(hù)層，，將親水基片轉(zhuǎn)化為疏水性。該過程有效增大處理后的基片接觸角，減少光刻膠使用量約30%，同時(shí)提升膠層與基片的黏附強(qiáng)度?。

抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng) 硅烷偶聯(lián)劑（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等）作為一類重要的有機(jī)硅化合物，在材料表面改性、復(fù)合材料增強(qiáng)、涂層制備等眾多領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

疏水處理設(shè)備 疏水性處理系統(tǒng) HMDS預(yù)處理是一種改善物體表面性質(zhì)的技術(shù)，使其具有疏水性，即不易被液體濕潤。

表面疏水性處理設(shè)備 陶瓷玻璃疏水處理機(jī)通過氣相涂布硅烷偶聯(lián)劑HMDS實(shí)現(xiàn)陶瓷表面疏水性能的提高，陶瓷表面接觸角為118?135度，且疏水材料與陶瓷基體的的附著性能好。