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前烘潔凈烘箱,半導(dǎo)體工藝烤箱

前烘潔凈烘箱,半導(dǎo)體工藝烤箱

簡(jiǎn)要描述:

前烘潔凈烘箱,半導(dǎo)體工藝烤箱,用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。

前烘潔凈烘箱,半導(dǎo)體工藝烤箱

用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到zui高溫度控制精度。無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

前烘潔凈烘箱,半導(dǎo)體工藝烤箱特點(diǎn)

1、內(nèi)箱全部滿(mǎn)焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;

2、采用進(jìn)口SUS304#鏡面不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;

3、平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)進(jìn)口過(guò)濾裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 100,排氣口φ50mm

技術(shù)參數(shù)

1、潔凈烘箱滿(mǎn)足ULSI工藝

2、潔凈烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500(可尺寸)

3、溫度范圍:60℃~300℃

4、潔凈度:100/1000/10000級(jí)(可選擇)

5、溫度均勻性: ±1.5%(空載)

6、波 動(dòng) 度:±0.5℃

7、電    源:380V 50Hz  7.5KW;

8、箱體材料:外箱采用高級(jí)冷軋板板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),保溫材料:超細(xì)玻璃棉;  

9、 空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機(jī);

10、加熱方式:不銹鋼電加熱器;

11、溫度測(cè)量傳感器:Pt100 鉑電阻;

12、控制儀表:進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;

13、超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;

14、控制系統(tǒng):主要電器件均采用正泰、歐姆龍等元器件;

15、排 氣 口:ф50;

16、隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。 

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