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無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱 工業(yè)烘箱

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱技術(shù)參數(shù):

用途

用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

溫度范圍

室溫+10℃~250℃

溫度波動度

恒溫溫度波動±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(寬)*600(高)(可自定)

潔凈度

Class100

氣體過濾

配有氣體過濾裝置,保證腔體內(nèi)潔凈度為100級

隔板要求

每個腔體配二個隔板,用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑(或SUS304)

箱體內(nèi)壁材料

為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊(SUS316或SUS304)

保溫材料

優(yōu)質(zhì)超細(xì)納米玻璃棉

氮氣接口

能將箱內(nèi)空氣排出,確保烘烤的硅片是在氮氣中進(jìn)行

控制方式

人機界面+PLC控制

氮氣流量

0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監(jiān)控記錄曲線)

超溫保護(hù)

采用獨立的超溫保護(hù)裝置,確保溫度不超限;當(dāng)保護(hù)裝置動作時,超溫保護(hù)裝置自動切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調(diào)

計時方式

溫度達(dá)到制程設(shè)定值后開始計時.

排風(fēng)口

直徑114mm的排風(fēng)口,且安裝有調(diào)節(jié)風(fēng)閥

電氣安全保護(hù)

風(fēng)機過載保護(hù)、加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)、電磁門鎖保護(hù)、安全接地保護(hù).

MES軟件

可連接MES系統(tǒng)

作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確

自動記錄作業(yè)累計次數(shù),作業(yè)批號,作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動生成Excel報表

有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動記錄作業(yè)人員

 

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱用途: 

   無塵烘箱用于IC生產(chǎn)過程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤(軟烘),脫水烘烤,涂膠后的堅膜烘烤(硬烘);也適用于電子液晶顯示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

 

 

 

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